ES4-SiH4-50 硅烷传感器

EC Sense ES4-SiH4-50 是一款面向硅烷检测的工业级电化学气体传感器，量程 0 – 50 ppm、分辨率 0.01 ppm，灵敏度 60 nA/ppm ± 15 nA/ppm，T50 < 25 s、T90 < 90 s。采用标准 ABS/PPO 封装、重量不足 6 g，便于插针焊接与常规模组的快速集成，适用于半导体工业与电子工厂的硅烷泄漏监测。硅烷自燃点约 21 ℃、爆炸极限 1.37% – 96% vol，工程上宜先按可燃性对待，再以 ppm 级传感器做泄漏确认。预期寿命超过 3 年（空气中），长期灵敏度漂移小于 1%/月。选型提示：硅烷自燃点约 21 ℃，属自燃性气体（NFPA 704 可燃性 4 级），爆炸极限 1.37% – 96% vol，相对密度约 1.12（略重于空气），泄漏后在低处与地沟、阀门箱内积聚，探测点应贴近泄漏源并偏低布置；工程逻辑宜为「先按可燃性对待 → 再做 ppm 级泄漏确认」。官方交叉敏感度表显示 100 ppm 氢气在硅烷通道上读数约 20 ppm（约 20% 正干扰），1 ppm 氯气呈负干扰（约 −0.5 ppm），10 ppm 二氧化硫读数约 1 ppm；N₂/H₂ 共存的 PECVD 工况务必先确认是否有 H₂ 背景，必要时在系统侧做减法或改用独立通道。ACGIH TLV-TWA 为 5 ppm，本款 0 – 50 ppm 量程可覆盖到 10 倍阈限值。

核心特性

• 直接线性输出
• 快速响应
• 无中毒现象
• 无电解液泄漏
• 无零点漂移
• 长寿命
• nA 级零功耗
• 重量 < 6 g
• 符合 RoHS

典型应用

校准与交叉敏感度

以硅烷（SiH4）标准气体校准；对其他气体可能存在交叉响应，详见规格书交叉敏感度表。出厂前每只传感器均在标准条件下测试，具体标定气体与偏差数据以规格书为准。