EC Sense

ES1-SiH4-50 硅烷传感器

型号：ES1-SiH4-50-01

硅烷 电化学三电极安培式

ES1 微型封装，0 – 50 ppm，硅烷（SiH4）检测，适合便携设备与紧凑模组集成

ES1-SiH4-50 硅烷传感器

EC Sense ES1-SiH4-50 是一款面向硅烷检测的微型电化学气体传感器，量程 0 – 50 ppm、分辨率 0.01 ppm，采用 PPO 外壳、重量不足 0.7 g 的微型 SMD 封装，适合便携式检测设备与空间受限的模组集成，适用于半导体工业与电子工厂的硅烷泄漏监测。硅烷自燃点约 21 ℃、爆炸极限 1.37% – 96% vol，工程上宜先按可燃性对待，再以 ppm 级传感器做泄漏确认。

核心特性

  • 直接线性输出
  • 快速响应
  • 无中毒现象
  • 无电解液泄漏
  • 无零点漂移
  • 长寿命
  • nA 级零功耗
  • 重量 < 0.7 g
  • 符合 RoHS

典型应用

半导体工业电子工厂硅烷泄漏检测（PECVD / 硅烷炉周边）工业安全

校准与交叉敏感度

以硅烷（SiH4）标准气体校准；对其他气体可能存在交叉响应，详见规格书交叉敏感度表。出厂前每只传感器均在标准条件下测试，具体标定气体与偏差数据以规格书为准。